工艺要求
中电商务(北京)有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2025-02-11在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
设备用途及基本要求: 本设备利用精确控制的化学反应,溶解未曝光的光阻,保留已曝光的图文部分。再通过冲洗和干燥处理,分别去除基板表面残留的药液和水分,完成彩膜基板的显影过程。 要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 本设备是用来将彩膜基板上附着的有机物和异物等去除的装置。要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 本设备使用等离子体、清洗剂、毛刷及纯水清洗搬运到工厂的基板,以去除基板上附着的有机物及异物。 要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 该设备用于阵列制程,以刻蚀未被光阻保护的金属、ITO或IGZO膜层,并具备洗净、干燥功能。 要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 该设备用于阵列制程,以去除基板(素基板、Rework基板、干刻和湿刻后的基板)上的光刻胶为目的,并具备洗净、干燥功能。要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 该设备用在基板进入成膜设备前,以清洗方式去除基板上附着的有机物及Particle,并具备基板干燥功能。 要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 该装置用于去除基板上的有机膜,亦可单独作为清洗机对基板表面的异物进行洗净和干燥。 要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 该装置用于成盒制程,通过基板表面改质处理、洗剂清洗、纯水清洗、毛刷清洗、高压喷淋、二流体喷淋、风刀干燥等工艺去除基板表面有机物及异物,来保证绝缘膜涂布前基板的洁净度。 要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
设备用途及基本要求: 该装置用于成盒制程和CF制程,通过药液去除基板表面的绝缘膜和CF基板表面的色阻膜,并对基板表明上进行清洗以达到基板再利用的目的。 要求该设备结构设计合理,使用先进成熟技术,保证系统拥有非常良好的动态品质。所选控制管理系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧密相连,整机运行稳定可靠,售后服务优良。
投标人应具备的资格或业绩:投标人应是响应招标、已在招标机构处领购招标文件,并参加投标竞争的法人或其他组织。凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标。
招标文件领购地点:北京市海淀区复兴路17号A座或CEC电子采购平台()
其他说明:各包售价详见招标产品列表备注;招标文件领购具体时间:上午9:00~11:30,下午13:00~16:30(北京时间)(节假日除外)。请各投标人登录CEC电子采购平台()进行招标文件的购买和下载。
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